红外探测器寿命试验设备真空系统的研制

来源 :中国真空学会2014年年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bad_47
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  对于空间应用的红外探测器组件,寿命试验是一种很重要的可靠性试验方法,其统计结果是可靠性预测的重要依据.考虑到红外组件寿命试验过程的高真空及间歇性测试中维持静态真空的要求,本文设计了一种多工位红外组件寿命设备的真空系统.在完成系统的结构设计和关键部件的真空设计后,进行了生产加工并通过了实验验证.实验结果表明,本文设计的真空系统功能可正常运行,系统加载全部杜瓦后真空可达到2.18×10-4Pa,满足等工位真空度优于3×10-4Pa 的系统要求.
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