【摘 要】
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采用Sol-Gel法制备了SnO薄膜.研究了掺杂含量、气氛处理、烧结时间、Cl等实验条件对SnO薄膜电阻的影响,分析了影响的机理,并利用这种低阻SnO薄膜制作成热线型气敏元件,发现它对HS气体具有较好的气敏特性,表面出良好的选择性,同时具有较好的响应-恢复特性.
【机 构】
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吉林大学电子工程系 吉林大学物理系(吉林长春)
【出 处】
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第四届中国功能材料及其应用学术会议
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采用Sol-Gel法制备了SnO<,2>薄膜.研究了掺杂含量、气氛处理、烧结时间、Cl<->等实验条件对SnO<,2>薄膜电阻的影响,分析了影响的机理,并利用这种低阻SnO<,2>薄膜制作成热线型气敏元件,发现它对H<,2>S气体具有较好的气敏特性,表面出良好的选择性,同时具有较好的响应-恢复特性.
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