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本实验以氩气逐渐取代氢气作为主要的反应气体,使用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)成功合成出纳米金刚石膜.用拉曼光谱和原子力显微镜(AFM)对金刚石膜的质量、晶粒度、表面粗糙度进行了检测.
微波等离子体CVD法合成纳米金刚石膜的研究
【摘 要】
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本实验以氩气逐渐取代氢气作为主要的反应气体,使用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)成功合成出纳米金刚石膜.用拉曼光谱和原子力显微镜(AFM)对金刚石膜的质量、晶粒度、表
【机 构】
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北京天地东方超硬材料股份有限公司,北京,100018清华大学机械工程系,北京
【出 处】
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2001'中国机床工具工业协会超硬材料分会研讨会
【发表日期】
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2001年9期
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