【摘 要】
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本文提出了一种利用硼盐酸进行扩散的方法,将旋涂硼盐酸的硅片作为扩散源,在N2 气氛保护下,1020 ℃扩散12 min 所得到的发射极的方块电阻平均值为65 Ω/□,偏差≤4.2 Ω/□,得到的电池的开路电压高于固态硼扩散的开路电压,这种方法与固态硼扩散和液态硼扩散相比还具有扩散温度低、时间短、工艺简单和环境友好等优点,在太阳能电池生产中有巨大的应用潜力.
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,北京市朝阳区北土城西路3 号 , 100029
【出 处】
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第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)
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本文提出了一种利用硼盐酸进行扩散的方法,将旋涂硼盐酸的硅片作为扩散源,在N2 气氛保护下,1020 ℃扩散12 min 所得到的发射极的方块电阻平均值为65 Ω/□,偏差≤4.2 Ω/□,得到的电池的开路电压高于固态硼扩散的开路电压,这种方法与固态硼扩散和液态硼扩散相比还具有扩散温度低、时间短、工艺简单和环境友好等优点,在太阳能电池生产中有巨大的应用潜力.
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