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MEMS陀螺仪是MEMS惯性测量组合单元中的重要组成部分,其精度的高低直接影响到整个组合单元的输出精度.本文介绍了MEMS音叉式振动陀螺仪的结构特点及工作机理,主要建立了其误差模型,对原理性误差进行了定性分析,给出了影响其精度的主要干扰源,并提出了误差补偿的方法.
MEMS音叉式振动陀螺仪的动态特性研究
【摘 要】
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MEMS陀螺仪是MEMS惯性测量组合单元中的重要组成部分,其精度的高低直接影响到整个组合单元的输出精度.本文介绍了MEMS音叉式振动陀螺仪的结构特点及工作机理,主要建立了其误
【机 构】
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哈尔滨工程大学,哈尔滨,150001
【出 处】
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第四届全国信息获取与处理学术会议
【发表日期】
：
2006年期
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