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本文分析了渗氦型真空校准漏孔的漏率(经计量技术机构校准)在氦质谱检漏仪上示值的差异;提出用氦质谱检漏仪判定校准漏孔的漏率值是否准确的方法和允差计算方法;建议检漏仪应配备外置校准漏孔。
氦质谱检漏仪与校准漏孔
【摘 要】
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本文分析了渗氦型真空校准漏孔的漏率(经计量技术机构校准)在氦质谱检漏仪上示值的差异;提出用氦质谱检漏仪判定校准漏孔的漏率值是否准确的方法和允差计算方法;建议检漏仪应
【机 构】
：
中国计量科学研究院;
【发表日期】
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2004年期
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