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本文选择并合成了丙烯海松酸和几种三乙基醚化合物，组成了一种新型的正型光致抗蚀剂。文中详细介绍了其合成方法及结构。
一种新型193 nm正型光致抗蚀剂研究
【摘 要】
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本文选择并合成了丙烯海松酸和几种三乙基醚化合物，组成了一种新型的正型光致抗蚀剂。文中详细介绍了其合成方法及结构。
【机 构】
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北京师范大学,化学学院,北京,100875
【出 处】
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中国感光学会第七次全国会员代表大会暨学术年会和第七届青年学术交流会
【发表日期】
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2006年期
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