【摘 要】
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随着微细加工技术的快速发展,产品微型化是今后制造业发展越来越重要的一个趋势.这些器件的几何特征尺寸介于数百微米至数毫米之间、对其测量精度要求数十纳米量级甚至更高.
【出 处】
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第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016)
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随着微细加工技术的快速发展,产品微型化是今后制造业发展越来越重要的一个趋势.这些器件的几何特征尺寸介于数百微米至数毫米之间、对其测量精度要求数十纳米量级甚至更高.鉴于目前在数百微米至数毫米间的三维测量技术和测量手段的空白,真三维几何形状测量问题是目前世界各国有待解决的测量科学难题.有别于现有三维纳米触发定位方法和技术,本项目旨在基于谐振敏感元件谐振参数对外力极其敏感的特性,通过检测敏感元件的谐振参数变化,在三维方向上实现测头的三维纳米探头触发定位,从而构建一种基于谐振振动接触的三维纳米触发定位方法和技术.
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