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在绝缘基材上制备金属线路是电子/微电子工业中非常重要的生产环节。综述了金属线路的常规制造方法——先刻掩模法及新的制造技术——电镀、化学气相沉积、喷墨打印等技术的最新研究进展,并对其应用前景作了展望。
电子线路制造技术的研究进展
【摘 要】
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在绝缘基材上制备金属线路是电子/微电子工业中非常重要的生产环节。综述了金属线路的常规制造方法——先刻掩模法及新的制造技术——电镀、化学气相沉积、喷墨打印等技术的
【机 构】
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广西师范学院 化学与生命科学学院，广西 南宁 530001
【出 处】
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2009全国功能材料科技与产业高层论坛
【发表日期】
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2009年期
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