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Research on longitudinal and bending hybrid spherical ultrasonic motor with single-vibrator
【机 构】
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Shandong University of Thchnology, School of Machincal Eenineering, Zibo, Shandong,China
【出 处】
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2008 IEEE International Ultrasonics Symposium(IUS)(2008 IEEE
【发表日期】
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2008年期
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