【摘 要】
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声表面波传感器基片的压电晶体材料具有各向异性，切向不同性能差别很大。本文建立初始应力下的具有各向异性压电材料的波动方程。通过方程求解声表面波的传播速度，给出材料基片性能指标的计算方法，进行压电材料钽酸锂的各项性能指标的数值计算。根据计算结果确定延迟线型SAW力敏传感器的基片材料最佳切向。
【机 构】
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北京交通大学机电学院;辽宁工程技术大学大型工矿装备实验研究中心,北京,100044 北京交通大学机
【出 处】
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2008中国仪器仪表与测控技术报告大会
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声表面波传感器基片的压电晶体材料具有各向异性，切向不同性能差别很大。本文建立初始应力下的具有各向异性压电材料的波动方程。通过方程求解声表面波的传播速度，给出材料基片性能指标的计算方法，进行压电材料钽酸锂的各项性能指标的数值计算。根据计算结果确定延迟线型SAW力敏传感器的基片材料最佳切向。
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