【摘 要】
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硅与Ⅲ-Ⅴ族激光器混合集成是目前实现硅基激光最有效且最有可能实现实用化的方案之一.本课题组和北京大学合作,采用选区金属键合的方案已经实现了几种硅基激光器,其中最具代表性的结构是掩埋脊波导(Buried Ridge Waveguide:BRS)硅基键合激光器,并通过在硅波导上刻蚀DBR光栅的方法,利用光栅的反馈作用进行选模并获得硅基上的单模输出.本课题组的李梦珂博士详细研究了单管基于slot结构的单
【机 构】
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中国科学院半导体研究所 半导体材料科学重点实验室 北京 100083 北京大学物理学院 人工微结构
【出 处】
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第十二届全国硅基光电子材料及器件研讨会
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硅与Ⅲ-Ⅴ族激光器混合集成是目前实现硅基激光最有效且最有可能实现实用化的方案之一.本课题组和北京大学合作,采用选区金属键合的方案已经实现了几种硅基激光器,其中最具代表性的结构是掩埋脊波导(Buried Ridge Waveguide:BRS)硅基键合激光器,并通过在硅波导上刻蚀DBR光栅的方法,利用光栅的反馈作用进行选模并获得硅基上的单模输出.本课题组的李梦珂博士详细研究了单管基于slot结构的单模激光器的设计、制作和测试，验证了将slot结构引入硅基光器件中可以实现单模混合集成激光器。
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