【摘 要】
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柔性电子器件在电子织物、分布式传感器、纸上显示器以及建筑物表面的大型弯曲显示等领域具有广泛的发展前景.因而,利用纳米半导体组元构建兼具机械柔性和优越性能的功能柔性
【机 构】
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宁波工程学院材料学院,浙江宁波市海曙区翠柏路89号,315016
【出 处】
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中国颗粒学会超微颗粒专委会2013年年会暨第八届海峡两岸超微颗粒学术研讨会
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柔性电子器件在电子织物、分布式传感器、纸上显示器以及建筑物表面的大型弯曲显示等领域具有广泛的发展前景.因而,利用纳米半导体组元构建兼具机械柔性和优越性能的功能柔性系统,是当前活跃的研究热点之一.本工作以第三代宽带隙半导体SiC为研究对象,以碳布为柔性衬底,采用有机前驱体热解工艺,实现了柔性SiC纳米阵列结构的制备,并通过控制热解工艺参数,实现了SiC纳米阵列结构的调控.
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