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                                通过对Poly-Si  CMP工艺各参数的优化,采用Pad  UR-100,Slurry  Nalco  2360,Table  speed80RPM,Carrier  Speed  50RPM,Down  Pressure  2psi,Slurry  flow  rate  200ml/min的条件获得了表面粗糙度35A的好结果。