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TFT-LCD已成为平板显示的主流.作者尝试了一种新的不采用离子注入的方法制备P-Si、TFT单管器件,并取得了初步成功,测得的电流开关比为10<4>.
一种新的非离子注入方法制备多晶硅薄膜晶体管
【摘 要】
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TFT-LCD已成为平板显示的主流.作者尝试了一种新的不采用离子注入的方法制备P-Si、TFT单管器件,并取得了初步成功,测得的电流开关比为10.
【机 构】
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长春北方液晶工程研究开发中心
【出 处】
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2002中国平板显示学术会议
【发表日期】
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2002年3期
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