【摘 要】
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采用直流磁控溅射方法,以K9 玻璃为衬底制备掺铝氧化锌(ZnO∶Al,AZO)薄膜.在300 ℃真空条件下对样品进行退火处理,研究不同退火时间对薄膜内部微观结构、表面形貌及光学
【机 构】
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常熟理工学院物理与电子工程学院,江苏常熟215500
【出 处】
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第十届全国激光技术与光电子学学术会议
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采用直流磁控溅射方法,以K9 玻璃为衬底制备掺铝氧化锌(ZnO∶Al,AZO)薄膜.在300 ℃真空条件下对样品进行退火处理,研究不同退火时间对薄膜内部微观结构、表面形貌及光学特性的影响.结果表明,最佳退火时间为2 h,此条件下的AZO 薄膜具有较强的(002)衍射峰,晶粒尺寸为17.2 nm,表面结构平整致密,紫外-可见波段的平均透过率为93.47％,光学带隙为3.41 eV.
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