Ta/W/Sn复合涂层制备工艺

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<正>通过钽、钨、钕、镝、锡等涂层的储存试验,排除了化学性质活泼的金属钕和镝,选择了化学性能稳定的金属钽、钨、锡作为复合涂层材料,主要研究了等离子喷涂工艺参数对复合涂层性能的影响。利用扫描电子显微技术(SEM)分析了涂层的表面形貌,俄歇能谱仪(AES)深度剖析了涂层的化学成分,化学定量分析了涂层中的平均氧含量,X衍射仪(XRD)分析涂层中氧化物的相结构。
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