硅烷注入方法的光谱分析及在微晶硅太阳能电池中的应用

来源 :第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12) | 被引量 : 0次 | 上传用户：guyueer83

【摘要】

：

采用SR500 光谱光度计对VHF-PECVD沉积本征微晶硅薄膜时硅烷不同馈入方式进行了在线监测,并制备了单结微晶硅薄膜太阳能电池.研究发现,相比于硅烷一次性注入,梯度注入时,电子温度缓慢降低,使得Ha*/Hb*和SiH*峰强度逐步升高,且高的Ha*/SiH*比有利于高晶化率界面层的沉积.选择硅烷梯度注入方式沉积本征层,在沉积速率为1nm/s条件下研制备了本征层厚度系列的电池,得到了光电转换效率为

【作者】

：

李新利周建朋陈永生卢景霄杨仕娥谷锦华焦岳超李瑞

【机构】

：

郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室, 郑州 450052

【出处】

：

第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)

【发表日期】

：

2012年3期

【关键词】

：

微晶硅太阳能电池光发射谱高速沉积

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