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四氯化硅是多晶硅生产中主要副产物，具有强腐蚀性，按目前的消耗途径和产量，已无法安全处理。本文以副产四氯化硅为原料，在酸性电解质溶液中制备二氧化硅粉体。考察了物料比例、反应温度、加料速率、陈化时间对产品比表面及产率的影响，采用x射线衍射仪、比表面积测定仪和扫描电子显微镜对晶体结构、产品的形貌、比表面积进行了表征。结果表明，底物中电解质采用CaCl2且其初始浓度为4．5mol·L-1盐酸浓度为7．1mol·L-1，四氯化硅加入量为0．9mol／(L底物)，反应温度为45℃，加料速率为0．35mol·h-1，陈化时间为0．5 h时，反应混合物具有较好的过滤性能，并可得到纯度较高，颗粒较小，比表面分布窄的二氧化硅纳米颗粒，达到作为橡胶补强剂的工业应用指标。