【摘 要】
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一个具有纳米级定位精度的六自由度微动工作台,柔性铰链的结构参数、各铰链间的相对位置如何确定决定了微动工作台的预期性能能否实现,而利用有限元分析软件ANSYS模拟工
【机 构】
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合肥工业大学,仪器仪表学院,230009
【出 处】
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全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议
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一个具有纳米级定位精度的六自由度微动工作台,柔性铰链的结构参数、各铰链间的相对位置如何确定决定了微动工作台的预期性能能否实现,而利用有限元分析软件ANSYS模拟工作台各自由度的运动特性,可以辅助微动台的结构设计.本文介绍了利用ANSYS对单个柔性铰链及工作台整体结构的参数化分析方法,分别分析了各自由度最大运动量时各构件应力和驱动力的大小,根据工作台设计要求,通过分析比较不同参数值对应的有限元分析结果,选择结构参数最优解,实现微动工作台结构的优化设计.
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