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本文基于衍射光学元件的金刚石单点切削加工工艺的原理,指出了在加工过程中出现的问题,讨论了零件表面粗糙度对衍射光学元件(DOE)的微观影响,刀具的拦光效应,为衍射光学元件的加工提出了合理化的建议.
衍射光学元件金刚石单点切削加工工艺的研究
【摘 要】
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本文基于衍射光学元件的金刚石单点切削加工工艺的原理,指出了在加工过程中出现的问题,讨论了零件表面粗糙度对衍射光学元件(DOE)的微观影响,刀具的拦光效应,为衍射光学元件的加工提出了合理化的建议.
【机 构】
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华北光电技术研究所(北京)
【出 处】
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2002年全国光电技术学术交流会
【发表日期】
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2002年12期
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