【摘 要】
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超硬薄膜是指硬度超过40GPa的薄膜材料，对这类薄膜的研究和探索，一方面在科学上满足了人们在科学上寻求硬度接近甚至超过金刚石的好奇心，另一方面在工程上也满足了现代高速
【机 构】
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上海理工大学,材料科学与工程学院,上海200093
【出 处】
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TFC`15全国薄膜技术学术研讨会
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超硬薄膜是指硬度超过40GPa的薄膜材料，对这类薄膜的研究和探索，一方面在科学上满足了人们在科学上寻求硬度接近甚至超过金刚石的好奇心，另一方面在工程上也满足了现代高速、干式加工业的发展对刀具、模具和刃具表面涂层材料提出的越来越高的要求.纳米结构薄膜利用纳米材料的特异结构使硬度增加，是超硬薄膜中的研究热点，它主要包括纳米多层膜和纳米复合膜两种结构.纳米多层膜的概念最初是1970年由J.S.Koehler首先从理论上提出来的，这类材料是由两种或两种以上不同的材料在薄膜生长方向上以纳米量级相互交替沉积而形成的多层结构.
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