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1KPa微机械结构微压传感器研究
1KPa微机械结构微压传感器研究
来源 :第五届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dongge5266
【摘 要】
:
该文报道一种量程为1KPa的扩散硅微机械结构微压传感器。实现了在高灵敏度下的非线性内补偿和强过载保护以及微压高频响,分析研究了最佳条件。微压传感器的非线性约0.1℅FS,其过载保护能
【作 者】
:
吴宪平
龚凤英
【机 构】
:
大学电子工程系
【出 处】
:
第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
:
1997年期
【关键词】
:
微机械结构
微压传感器
过载保护
非线性
共振频率
高灵敏度
保护能力
内补偿
扩散硅
高频响
压力
量程
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该文报道一种量程为1KPa的扩散硅微机械结构微压传感器。实现了在高灵敏度下的非线性内补偿和强过载保护以及微压高频响,分析研究了最佳条件。微压传感器的非线性约0.1℅FS,其过载保护能力已达到了500倍满程压力,共振频率为9.03KHz。
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