1KPa微机械结构微压传感器研究

来源 :第五届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dongge5266
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该文报道一种量程为1KPa的扩散硅微机械结构微压传感器。实现了在高灵敏度下的非线性内补偿和强过载保护以及微压高频响,分析研究了最佳条件。微压传感器的非线性约0.1℅FS,其过载保护能力已达到了500倍满程压力,共振频率为9.03KHz。
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