钝化玻璃膜的形成与表征

来源 :第六届全国固体薄膜学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhangxyz
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半导体的表面状况对器件的稳定性、可靠性及产品的成品率影响很大,一直是人们所关注的重要课题之一。六十年代初Mautin等人提出了玻璃钝化硅器件后,世界各国对钝化玻璃粉都进行了深入的研究,很快就应用到高压大功率晶体管、闸流管以及各种高压组合件上。随着彩色电视机和各种显示装置的发展,高压大功率晶体管的玻璃钝化技术子八十年代趋于成熟和完善,近期有关该课题的研究,主要集中在OH-对玻璃钝化MOS结构的C-V特性研究,改变玻璃粉组成控制OH-离子的影响等。尽管国内很多单位的学者在这个领域中也做了大量的工作,但仍未从根本上解决玻璃钝化的实际问题。“八五”期间中国经国务院批准引进十八个彩电国产化的项目,其中之一是“彩电用高反压晶体管生产线”,目前,生产的产品能满足电视机的要求,但关键性材料玻璃粉等仍需从国外进口,生产的主动性受外国控制,而且需要支付大量的外汇。研究人员课题组承担了省科委钝化玻璃粉研究的课题,试图研制出与进口玻璃粉性能相似的产品,实现从材料到器件完全国产化,推动中国电子产业的发展。该文报导了玻璃粉通过电泳技术得到均匀的涂粉层,经过适当的烧工艺制得了钝化玻璃膜,讨论了电泳原理动力学过程和各种因素对粉涂层厚度的影响。借助差热分析(DTA)、X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)等手段,对钝化玻璃膜晶化温度、微晶组成及表面形貌进行了表征。
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