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横向曲率对场限环设计的影响
【机 构】
:
交通大学
【出 处】
:
第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
:
1995年期
其他文献
该文阐述了曲壳单元热弹塑性有限元理论,研制成功相应的计算机程序,并对平板焊接残余应力分布进行了数值分析,结果表明:计算结果与实际情况吻合较好。