灵巧(smart)集成传感器研制

来源 :第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sscy2002
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该文报导了一种灵巧集成压力传感器的研制。该压力传感器芯片内包含了压敏电桥参考电桥,数据放大器,恒流源以及ADC电路。介绍了系统与电路的设计,传感器结构与工艺以及实验与测量结果。
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