【摘 要】
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采用有限元方法,解释了微机械气流式全方位水平姿态传感器的气体摆特性.通过建立敏感元件的三维模型,计算了在不同倾斜状态下敏感元件中的对流场和温度场.结果表明:(1)敏感元件内自然对流气体具有"摆"的特性.(2)敏感元件中的温度场呈羽状分布.(3)当敏感元件倾斜时,热源周围两两相对的检测热敏电阻处的温度不相等,而且两者温度之差随着倾斜角度的变化而改变.该传感器利用这一特性敏感任一方位的倾斜角度.
【机 构】
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北京信息工程学院 北京 100101 北京市传感器重点实验室,北京100101
【出 处】
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中国电子学会第十五届电子元件学术年会
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采用有限元方法,解释了微机械气流式全方位水平姿态传感器的气体摆特性.通过建立敏感元件的三维模型,计算了在不同倾斜状态下敏感元件中的对流场和温度场.结果表明:(1)敏感元件内自然对流气体具有"摆"的特性.(2)敏感元件中的温度场呈羽状分布.(3)当敏感元件倾斜时,热源周围两两相对的检测热敏电阻处的温度不相等,而且两者温度之差随着倾斜角度的变化而改变.该传感器利用这一特性敏感任一方位的倾斜角度.
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