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研究3ω分光膜在1064nm的激光损伤特性。采用电子束蒸发的方式制备了两种不同材料组合的分光膜，分别对其在波长1064nm激光辐照下的损伤阈仁进行了测试，用Alpha-Step500台阶仪对破斑进行了深度测量，实验结果表明，破斑呈现出表面层的剥落和深坑破坏两种形态。表面层的剥落深度在一定范围内不随能量密度的变化而变化;深坑破坏深浅不一，是膜内缺陷融化、汽化及喷发的综和作用的结果，是损伤阈值降低的主要原因。