大容量表面张力贮箱氦质谱正压检漏技术

来源 :第十三届全国质谱分析和检漏会议、第八届全国真空计量测试年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:weishuren33
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  本文详述了大容量表面张力贮箱的氦质谱正压检漏原理、技术要求、检漏方法及检测结果的计算判定,最后得出结论,认为采用氦质谱正压检漏方法,对贮箱充氦气至工况压力下进行检漏,是一种可靠的方法,与其它方法相比较,其漏率检测结果更接近贮箱的实际使用情况。
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