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目前薄膜检测基本上采用高分辨X射线衍射.本文介绍用普通衍射仪对薄膜材料微结构品质进行评估时,如何避免来自衬底的影响而使衍射峰强度减弱的问题.
探索在普通衍射仪上分析薄膜的途径
【摘 要】
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目前薄膜检测基本上采用高分辨X射线衍射.本文介绍用普通衍射仪对薄膜材料微结构品质进行评估时,如何避免来自衬底的影响而使衍射峰强度减弱的问题.
【机 构】
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电子科技大学材料分析中心(成都)
【出 处】
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第八届全国X射线衍射学术会议
【发表日期】
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2003年10期
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