Si离子注入高TcYBCO超导薄膜制备RF·SQUID器件的研究

来源 :第六届全国电子束离子束光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yanguoke

【作者】

：

来永春乔蔚川陈岚峰

【机构】

：

北京师范大学低能核物理研究所

【出处】

：

第六届全国电子束离子束光子束学术年会

【发表日期】

：

1991年期

【关键词】

：

离子注入超导薄膜制备

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