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基于光谱共焦位移计的显微镜镜头微小瑕疵检测

来源 :第十六届全国光学测试学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：rdhbrth565657ki

【作 者】

：

宋丽梅 魏泽 刘海霞 郭庆华 习江涛 

【机 构】

：

天津工业大学电工电能新技术天津市重点实验室,天津300387

【出 处】

：

第十六届全国光学测试学术交流会

【发表日期】

：

2016年9期

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