基于塞贝克效应的甲烷气敏传感器的研究

来源 :2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fylnn125
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  甲烷(CH4)是天然气、沼气和多种液体燃料的主要成分,是工业领域和日常生活中广泛使用的易燃易爆气体,在大气中爆炸的下限为5.3%.国家《煤矿安全规程》中规定的CH4传感器的断电浓度更是低到0.5%~1.5%.及时检测CH4的产生源、泄露源及浓度,对工矿安全运行、人身安全及环境保护有着十分重要的作用.仅2006年第一季度,全国煤矿共发生一次死亡10人以上事故8起,死亡401人.事故频发引起了国务院以及国家相关各部委的关注,2007年煤矿安全技术改造资金将达150亿元.因此,研制低成本、高灵敏度和良好选择性甲烷传感器及相应敏感材料具有广阔市场.
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