【摘 要】
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介绍了等离子体增强化学气相淀积PECVD半导体技术与工业自动化系统中组态软件监控技术的特点，提出了一种新型的组态软件监控画面组态方法，并将其应用到PECVD 设备中。试验结果表明，组态监控技术对快速构建PECVD 设备监控系统平台有重要意义，它有效解决了PECVD 监控系统开发难度大、开发周期长以及系统可扩展性差等问题。
【机 构】
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工业信息学重点实验室，中国科学院沈阳自动化研究所，沈阳，中国，110016
【出 处】
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2011年青年通信国际会议(ICYC2011)
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介绍了等离子体增强化学气相淀积PECVD半导体技术与工业自动化系统中组态软件监控技术的特点，提出了一种新型的组态软件监控画面组态方法，并将其应用到PECVD 设备中。试验结果表明，组态监控技术对快速构建PECVD 设备监控系统平台有重要意义，它有效解决了PECVD 监控系统开发难度大、开发周期长以及系统可扩展性差等问题。
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