【摘 要】
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With the development of economy, many industries require making use of the glow discharge plasma in the pressure less than 10-2 Pa.We have got the hollow cathode glow discharge plasma under the condit
【机 构】
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Wuhan University, School of Electrical Engineering, Wuhan
【出 处】
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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With the development of economy, many industries require making use of the glow discharge plasma in the pressure less than 10-2 Pa.We have got the hollow cathode glow discharge plasma under the condition of low pressure (10-3 Pa~10-2 Pa) and magnetic field.In order to know about the characteristics of hollow cathode glow discharge plasma under that condition, we measured the volt-ampere characteristics and electron density, and we compared the volt-ampere characteristics with that of the normal glow discharge and the normal hollow cathode glow discharge.
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