采用离子束溅射沉积Zr的同时,进行氧离子的轰击.随着注入离子束流密度的不同,形成的锆氧化物薄膜从非晶向晶态转化.形成的晶态薄膜为纳米量级范围内的微晶.同时发现不同的衬
采用直流磁控溅射法制作了用于衬底台阶刻蚀的铬膜。为了控制衬底台阶的质量,实验研究了铬膜沉积条件与耐刻蚀性和耐腐蚀性间的关系。
[摘要]在当前高校规模扩张的新形式下,为贯彻科学发展观,需要探索大学实验室建设的新思路。采用虚拟仪器技术创建绿色实验室、优化实验教学方式,以培养创新人才,塑造大学生现代工程素质,建设和谐大学。 [关键词]绿色实验;虚拟仪器;教学;创新体系 [中图分类号]G642.423[文献标识码]A[文章编号]1005-4634(2010)04-0067-04 0引言 营造绿色创新体系是国家大力倡导
系统频率是靠电力系统内并联运行的所有发电机组发出的有功功率总和与系统内所有负荷消耗的有功功率总和之间的平衡来维持的.但是电力系统的负荷是时刻变化的,从而导致系统频