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本文研究CF4等离子体处理对氧化锌纳米线的电学特性和场发射特性的影响。X射线光电子能谱（XPS）结果显示处理后样品实现了F掺杂。利用原位纳米探针对单根纳米线的电学及场发射特性进行了表征,发现处理后纳米线的电阻减小,而场发射开启电场增大,其原因主要是由于F掺杂增加了载流子浓度,造成场发射时场渗透效应减小。