高性能钕铁硼晶界扩散用铽/镝平面靶材制备技术研究进展

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添加铽(Tb)/镝(Dy)的高性能Nd FeB永磁材料广泛应用于新能源汽车、变频空调、风力发电等领域,磁控溅射镀膜+晶界扩散工艺渗Tb/Dy新兴技术是当下最先进的技术之一,不仅能提高磁体的矫顽力,克服传统熔炼添加工艺导致的剩磁下降问题,还能大幅降低Tb/Dy用量。晶界扩散用Tb/Dy平面靶成为当下亟需的关键材料,为解决Tb/Dy市场空缺难题,本文系统开发了一整套Tb/Dy靶专用的熔铸、变形加工、机加工及后处理技术和装备:(1)深入研究稀土金属凝固习性,优化铸锭宽厚比、浇铸温度、速度等工艺参数,使缩孔和缩松集中分布,成材率提高1倍,缺陷率<20%。(2)研究并解决了Tb/Dy质地软、粘滞力大导致难加工问题,开发出单次产出靶材30片以上机加工技术。(3)通过系统研究热处理与锻造工艺,获得优化的热处理及锻造工艺,解决了稀土金属易氧化、变形加工难等难题。(4)自主开发形成从稀土金属还原到金属提纯和靶材及后处理垂直生产线,实现了规模化应用,有研稀土2016年在国内建成第一条全球最大的永磁材料用Tb/Dy靶材生产线,产能达6万片/年,在国内外20余企业稳定应用,市场占有率90%以上,整体达到国际先进水平。
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