溶胶超声处理对PST薄膜介电调谐性能的影响

来源 :中国物理学会2012年秋季学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunnywwh
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利用溶胶凝胶工艺配制了钛酸锶铅(Pb0.3Sr0.7TiO3)溶胶,将其密封到三角瓶中,置于超声仪中进行超声处理,超声时间分别为0,3,5,8,12 小时,超声功率为150 W,频率为40 kHz.将超声处理的溶胶在Pt/Ti/SiO2/Si 基片上甩胶,经过退火制备PST 薄膜.
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