【摘 要】
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<正>全内反射显微技术是迄今无损伤、有效的检测零件亚表面损伤的方法之一。现存的仪器系统是利用Tyndall效应,在斜照明状态下,利用全暗背景增加损伤散射光的衬度,进而达到观
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<正>全内反射显微技术是迄今无损伤、有效的检测零件亚表面损伤的方法之一。现存的仪器系统是利用Tyndall效应,在斜照明状态下,利用全暗背景增加损伤散射光的衬度,进而达到观测的目的。微分干涉(DIC)显微镜利用线偏振光为光源,光线经过晶体棱镜折射后分成两束,经过样品后产生携带样品信息的相位差,然后再经过另一晶体棱镜将这两束光汇合并产生干涉,将样品中微小的相位差别转化成光强度的明暗区别,增加了样品反差,造成了样品的人为三维立体视觉感。由于两者所用的光源具为偏振光,将两者结合使用可以达到很好的检测效果。使得对气泡、瘤结、微观局部折射率变化的观测成为可能。从而增强了实用性,提高了对于透明介质样品检测的全面性。本文对DIC显微镜的相关干涉成像原理进行了详细分析。Nomarski棱镜作为该显微镜中最重要的器件,对其各参数间的关系进行理论推导并得出相应数学关
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