MEME/F-θ透镜光学扫描系统研究

来源 :第四届全国信息光学与光子器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jacky1228

【摘要】

：

针对目前外差干涉仪扫描范围小、稳定性低和均匀性差等缺点，提出了基于MEMS／Fθ透镜组合的主动光学扫描系统，建立了该扫描系统的数学模型，得到了出入射该扫描系统的光强的数学关系表达式。软件仿真和实验研究结果表明，该系统具有扫描频率和角度精确控制、盲点少、重复性好，以及小型化、扫描速度快等优点。

【作者】

：

庞亚军王春晖唐甜甜

【机构】

：

哈尔滨工业大学光电子技术研究所,黑龙江哈尔滨150001

【出处】

：

第四届全国信息光学与光子器件学术会议

【发表日期】

：

2012年10期

【关键词】

：

interferometer scanning MEMS F-O lens

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