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该文分析了以纵向场发射阵列为电子源的磁敏传感器的原理、灵敏度和制造过程，并在实验上获得了提高纵向磁敏传感器灵敏度的结构参数和预防失效的相应措施。理论分析和实验的结果表明这种磁敏传感器具有很好的灵敏度，可作为磁场强度的模拟量或数字量传感器。
纵向场发射阵列磁敏传感器原理和制造
【摘 要】
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该文分析了以纵向场发射阵列为电子源的磁敏传感器的原理、灵敏度和制造过程，并在实验上获得了提高纵向磁敏传感器灵敏度的结构参数和预防失效的相应措施。理论分析和实验的结
【机 构】
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师范大学电子科学技术系
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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