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本文提出了一种标定微压传感器新方法.该方法可以量程在1kPa以下的(甚至量程为100Pa的)微压压力传感器进行快速、高精度的标定.标定精度可以达到和高于千分之一.标定时间约为补偿式微压计测量法的十分之一.
微压传感器的快速标定方法——密闭水盒法
【摘 要】
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本文提出了一种标定微压传感器新方法.该方法可以量程在1kPa以下的(甚至量程为100Pa的)微压压力传感器进行快速、高精度的标定.标定精度可以达到和高于千分之一.标定时间约为
【机 构】
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上海复旦大学微电子系
【出 处】
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2001全国压力计量测试技术年会
【发表日期】
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2001年期
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