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本文首先阐述了MEMS的概念、起源、关键技术及其发展过程,随后介绍了MEMS技术在各种汽车传感器中的应用现状及应用前景,最后分析了我省MEMS技术的研究现状,并提出了开展我省MEMS汽车传感器研究并实现其产业化的思路。
MEMS技术及其在汽车传感器中的应用
【摘 要】
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本文首先阐述了MEMS的概念、起源、关键技术及其发展过程,随后介绍了MEMS技术在各种汽车传感器中的应用现状及应用前景,最后分析了我省MEMS技术的研究现状,并提出了开展我省M
【机 构】
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中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室;
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助(项目编号:60275027)
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