【摘 要】
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＜正＞通过对 Al 电极/HfA10/Si 组成的金属一氧化物一半导体电容（MOS-C）的深能级瞬态谱（DLTS）研究,HfA10和 Si 的界面区域缺陷的性质可以得到定量的分析。DLTS 的研究表明此缺陷位于价带上 0.44 eV 的位置。同时通过不饱和填充的 DLTS（Insufficient-Filling DLTS）,可以得到此缺陷的俘获界面对应的激活能为0.081 eV。让样品在 N2:
【出 处】
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第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集
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＜正＞通过对 Al 电极/HfA10/Si 组成的金属一氧化物一半导体电容（MOS-C）的深能级瞬态谱（DLTS）研究,HfA10和 Si 的界面区域缺陷的性质可以得到定量的分析。DLTS 的研究表明此缺陷位于价带上 0.44 eV 的位置。同时通过不饱和填充的 DLTS（Insufficient-Filling DLTS）,可以得到此缺陷的俘获界面对应的激活能为0.081 eV。让样品在 N2:H2=95:5的混合气体中退火后,发现当温度小于
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