【摘 要】
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随着科学研究和装备制造的需要，光学系统的有效口径越来越大，但由于加工过程不可避免的会留下各类损伤，这些损伤会对精密光学系统的性能产生严重影响，然而大范围下高精度损伤检测极其困难。目前，业界对于大口径光学元件的检测仍就采用目视法，亟需一种高效、准确的定量检测装置与方法，近年来大口径光学元件表面损伤检测一直是研究的热点与难点。
【机 构】
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中国科学院自动化研究所精密感知与控制研究中心 北京100190
【出 处】
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中国仪器仪表学会第十六届青年学术会议
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随着科学研究和装备制造的需要，光学系统的有效口径越来越大，但由于加工过程不可避免的会留下各类损伤，这些损伤会对精密光学系统的性能产生严重影响，然而大范围下高精度损伤检测极其困难。目前，业界对于大口径光学元件的检测仍就采用目视法，亟需一种高效、准确的定量检测装置与方法，近年来大口径光学元件表面损伤检测一直是研究的热点与难点。
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