CMOS-MEMS技术与应用进展

来源 :第十届中国国际半导体博览会暨高峰论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lpdshr
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  上世纪50年代半导体技术的出现,拉开了微传感器研究、开发与生产的序幕,但是,传感器市场分散、种类多,长期处于多品种、小批量的制造方式.MEMS技术的出现,使微纳传感器的批量化制造成为可能,尤其是以iPhone和iPad为代表的便携式产品,正在改变人类的生活方式,其中应用的主要产品包括麦克风、陀螺、加速度计、磁场传感器、振荡器等是MEMS产业发展的里程碑式产品.
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