论文部分内容阅读
用扩展电阻技术剖析外延工艺质量
【机 构】
：
测试技术研究所
【出 处】
：
第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
：
1995年期
其他文献
该文通过对软基底薄膜热敏电阻进行环境试验、机械试验和加速寿命试验，得到可靠性试验数据，由试验数据分析失效原因，提出失效模式，并对失效机理进行分析，最后提出改进措施。
通过对不同工艺条件制备敏感材料的ＤＴＡ谱图研究，讨论了制备条件和工艺条件对反应活化能的影响，得到活化能与材料电阻的变化关系。
国以人兴,政以才治.人才是国家兴旺发达繁荣昌盛的重要因素,是各个民族屹立于世界前列的重要条件,本文将以人才选用的基本理念作为出发点,结合胡锦涛总书记在全国组织会议上