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石英玻璃是二氧化硅单一成分的玻璃,具有许多优良的性能.近年来,由于不同领域的特殊需求,出现了对石英玻璃进行掺杂的工艺.在石英玻璃的基础组成成分SiO2中掺杂不同种类的稀土或金属元素,可以改变石英玻璃在膨胀系数、强度、稳定性、透光率、耐辐照等方面的特性.在石英玻璃中掺杂二氧化钛可降低其膨胀系数,低膨胀石英玻璃被广泛应用于光电、半导体、航空航天等领域.