【摘 要】
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STW谐振器和传统的瑞利波谐振器相比,具有突出的优点.但是由于这一特殊模式的复杂性,对STW谐振器比较精确的模拟,特别是Q值的准确预测还存在困难.主要原因是很难将各种损耗机
【机 构】
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南京大学声学研究所,南京,210093瑞士GVRTradeSA公司
【出 处】
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2006和谐开发中国西部声学学术会议
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STW谐振器和传统的瑞利波谐振器相比,具有突出的优点.但是由于这一特殊模式的复杂性,对STW谐振器比较精确的模拟,特别是Q值的准确预测还存在困难.主要原因是很难将各种损耗机制均考虑在理论模型之中.即便是表面波最精确的理论-有限元/边界元(FEM/BEM)理论,在模拟STW谐振器时,得到的Q值也有很大的误差.本文通过引进基片的材料损耗因子和电极的粘滞损耗因子,对FEM/BEM理论进行了修正,使得这一理论能够比较精确预测STW谐振器的Q值,以便理论上优化设计STW谐振器.最后以单端对谐振器为例,讨论了器件的优化.
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